潔凈技術又稱為生產環(huán)境和污染控制技術,是近些年隨著技術發(fā)展起來的一門綜合性的新興科學技術。潔凈技術通常包括:空氣凈化技術、空調技術、水純化技術、氣體純化技術、微量雜志控制技術、潔凈環(huán)境的檢測技術及相關的環(huán)境的控制技術。凈化工程技術在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機械、化工、食品、汽車制造等高科技工業(yè)領域及現(xiàn)代科學領域中得到廣泛應用。
對于半導體設備來講,凈化工程技術在微電子技術中起著十分重要的作用。微電子技術的核心是集成電路。而集成電路的生產對其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術和設備提出了嚴格的要求。我國“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點的信息產業(yè)。凈化工程技術水平在某種意義上已成為衡量一個國家和地區(qū)科學技術水平和工業(yè)水平的一個重要標志。
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